Хафнієва фольга для напівпровідникового обладнання

Хафнієва фольга для напівпровідникового обладнання повинна відповідати наступним вимогам:
1. Ультра висока чистота та низьке забруднення

• Вміст гафнію, що перевищує або дорівнює 99,95%, суворо контролюючи елементи викиду альфа -частинок, такі як уран (U) та торіум (Th) (<0.001 ppm) to avoid contaminating wafers or causing soft errors.

2. Резистентність до корозії газу в плазмі та галогенному

• Він має надзвичайно високу стійкість до травлення газів, таких як CF ₄, Cl ₂, Bcl ∝ та плазмові обстріли, щорічна швидкість корозії менше 0,005 мм та тривалість життя в 10 разів перевищує нержавіючу сталь.

3. Висока температура та низька теплова експансія

• Температура плавлення становить приблизно 2233 градус С, і вона не деформується при температурі процесу 300-600 градусів С. Коефіцієнт теплового розширення (6,5 × 10 ⁻⁶/k) близький до кремнію, зменшення відхилень процесів, спричинених тепловим стресом.

4. Відмінні вакуумні показники

• Швидкість вивільнення газу надзвичайно низька (відповідно до стандарту ASTM E595), уникаючи вивільнення газу та забруднення плівки у високих вакуумних середовищах, таких як CVD та PVD -камери.
  

  

  

Сценарії застосування фольги Hafnium у напівпровідниках такі:
1. Оформлення плазмового травлення

• Електродна пластина: Як катода/анода пластина ємнісної зв'язаної плазми (CCP) або індуктивно пов'язаних плазмових (ICP) травлення, вона може протистояти високій - частотної ерозії плазми.
• Внутрішня оболонка: захищає стінки реакційної камери від корозійних газів, зменшує забруднення металом та генерацію частинок.

2. Обладнання з тонкою плівкою

• ССЗ/ПВД перегородки та маски: застосовується в процесах хімічного осадження пари (ССЗ) та фізичних осадженнях пари (PVD), стійких до високих температур і не залучається до реакцій.
• Підкладка нагрівача: як допоміжний підкладка для керамічних обігрівачів, вона забезпечує рівномірне теплове поле і є забрудненням - безкоштовно.

3. Іонна імплантація та обладнання для відпалу

• Прокладка променя: стійкий до високого - енергетичного іонного розпилення, підтримуючи довгу - стабільність стабільної стабільності.
• Відпасна піч ізоляційна фольга: ізолює теплове поле під час високого процесу відпалу температури -, щоб запобігти розповсюдженню домішок у пластину.

4. Транспортування та перенесення вафель

• Вакуумна робототехнічна рукоятка рукоятки: Уникайте прямого контакту з пластиною, зменшуйте забруднення частинок та електростатичне пошкодження.
• Кронштейн для суден: він підтримує кремнієві вафлі без деформації під час високих температурних процесів -, забезпечуючи послідовність пакетів.

Фольга Hafnium для напівпровідникового обладнання вирішує екстремальні вимоги до стійкості до корозійних матеріалів, чистоти та термічної стійкості в ключових процесах, таких як травлення та осадження через Ultra - Контроль високої чистоти, точність обробки та оптимізації поверхні. Її застосування безпосередньо пов'язане з точністю процесу, надійністю пристроїв та витратами на виробничу лінію виробництва мікросхем, і це незамінний функціональний матеріал у розширених процесах (наприклад, нижче 7 нм).

Shaanxi Zhongheng Weichuang Metal Materials Co., Ltd., як провідний виробник матеріалів Hafnium та глобальний експортер у Китаї, завжди зобов’язаний надавати клієнтам високу продукцію Hafnium-. Ми наполягаємо на інтегрованій експлуатації від виробництва до продажів, без будь -яких проміжних посилань, щоб переконатися, що ви зможете отримати надійну продукцію, безпосередньо постачану з джерела за найбільш конкурентоспроможною ціною.

Компанія суворо контролює кожен виробничий процес, і всі матеріали Hafnium відповідають міжнародним стандартам з твердою та гарантованою якістю. У нас є професійна команда з обслуговування клієнтів, яка завжди знаходиться в Інтернеті, щоб відповісти на ваші потреби, надаючи послуги безтурботних послуг протягом усього процесу від технічної консультації до - підтримки продажів, забезпечуючи плавну співпрацю та спокій у закупівлі.

Якщо у вас є якісь потреби, будь ласка, не соромтеся запитувати:
Електронна пошта:zhwcjs2022@163.com
Shaanxi Zhongheng Weichuang Metal Materials Co., Ltd. готовий створити цінність з глобальними клієнтами за допомогою відмінних продуктів та щирих послуг, а також працювати разом для Win - виграйте результати!

Популярні Мітки: Хафнієва фольга для напівпровідникового обладнання, Китайська фольга Hafnium для виробників напівпровідникового обладнання, постачальників, фабрики